The influence of deposition conditions on structure of PVD coatings obtained in the magnetron process
Wariant tytułu
Wpływ parametrów nanoszenia na strukturę powłok otrzymanych w magnetronowym procesie PVD
Autor
Kwaśny, Waldemar
Jung, Tymoteusz
Opublikowane w
Technical Transactions
Numeracja
Y. 112, iss. 7-B
Strony
119-124
Data wydania
2015
Miejsce wydania
Kraków
Wydawca
Wydawnictwo PK
Język
angielski
Słowa kluczowe
PVD coatings, stress analysis, structure and texture, X-ray analysis
powłoki PVD, analiza naprężeń, struktura i tekstura, analiza rentgenowska
Abstrakt
This paper presents the influence of deposition conditions on texture and stress results of TiN coatings deposited by using the PVD magnetron process. Modification of parameters was related to the changes of temperature and substrate potential. The article presents the results of an analysis of texture and stress measurement obtained by X-ray methods and the results of microhardness measurement.
W pracy przedstawiono wpływ parametrów nanoszenia na teksturę i naprężenia powłok TiN uzyskanych w magnetronowym procesie PVD. Modyfikacja parametrów dotyczyła zmiany temperatury procesu oraz polaryzacji podłoża. W artykule przedstawiono wyniki analizy tekstury i pomiaru naprężeń uzyskane metodami rentgenowskimi oraz wyniki pomiaru mikrotwardości.
Wydział
Zbiory cyfrowe BPK
Licencja
Licencja PK
Prawa dostępu
Zasób dostępny dla wszystkich
Na stronie wykorzystywane są pliki cookie, bądź podobne rozwiązania. Aby poznać szczegóły zapoznaj się z polityką prywatności.
