scanning electron microscope, X-ray emission, energy dispersive spectrometer, characteristic spectrum, detection limits
Abstrakt
Obserwacje mikrostruktury litych próbek przy użyciu skaningowego mikroskopu elektronowego (SEM) z możliwością wykonania lokalnego pomiaru składu chemicznego w bardzo małym obszarze, to klasyczny przykład zastosowania spektroskopii dyspersji energii (EDS). Pomiar wykonywany jest na dowolnej próbce stałej, stosując parametry wzbudzenia promieniowania rentgenowskiego adekwatne do pierwiastków, spodziewanych w składzie próbki. Omówiono przykłady zastosowania techniki EDS w zagadnieniach związanych z inżynierią środowiska.
A classic example of the application of electron dispersive spectroscopy (EDS) is the observation of the microstructure of solid samples using scanning electron microscope (SEM). This provides the possibility of taking measurement of chemical composition in very small areas. Measurements can be performed on any bulk sample through adjusting the X-ray excitation parameters to the elements of its expected composition. Examples of the applications of the EDS technique in the context of environmental engineering have been presented.
